Este modelo puede tratar tumores con mucha precisión  tumores superficiales y profundos gracias a que se pueden realizar tratamientos con dos tipos de energía, con fotones y con electrónes.
Este equipo permite realizar radioterapia de intensidad modulada y la radioterapia guiada por imágenes ya que posee un tomógrafo incorporado.
Permite a los médicos verificar la posición del paciente y la posición del tumor en el momento del tratamiento. También tiene un sistema de gestión de posición en tiempo real para activación respiratoria.
El paciente se somete a una exploración para que la sincronización respiratoria pueda usarse para tratar tumores en el abdomen y el tórax. Esto permite que el haz se encienda y apague mientras el paciente respira normalmente para se administre solo cuando el tumor esté en la posición correcta.
El Varian 21iX también está equipado con tecnología VMAT, que acorta los tiempos de tratamiento de la mitad a una octava parte de la radioterapia convencional.